1,真空室內所有結構件采用金屬元件和絕緣陶瓷，并經過嚴格的超高真空拋光、去油、除氣處理，保證腔體及爐內材料潔凈無油，保證對處理產品無污染，影響產品性能。

2、均溫性優

多次驗證的設計經驗與現代有限元分析軟件的結合設計，使爐溫均勻性能在±5℃以內；

3、追溯性及嚴謹性

標配 PLC、真空數據記錄儀等,實現設備的智能化、人性化、 自動化,并嚴格按照既定工藝完成對應實驗、生產要求,達到數據上的嚴謹性、和客觀性。

4、真空度優

設備摒棄傳統真空爐的擴散泵加機械泵的抽氣組合，采用分子泵加機械泵組合，清潔無油，不會出現擴散泵的返油現象，保證真空室及處理材料的潔凈度。無需擴散泵的預熱環節，啟動時間快，真空獲得時間短，大大提升生產效率。

5、壓升率極低，控制在1pa/h以內

是否能將壓升率做到極低的值是衡量真空技術水平的關鍵指標，對熱處理產品質量及表面美觀有直接影響，爐殼為全不銹鋼材料，焊縫嚴格檢

漏，密封原件采用進口產品，并經特殊處理，保證將壓升率控制在1pa/h以內，遠超真空爐國內標準

二、設備主要參數

三、主要技術指標

四、加熱系統

1、加熱區尺寸：600*390mm（L×?）

2、加熱功率：25 KW

3、加熱元件：鉬鑭合金

4、隔熱組件：鉬鑭合金+不銹鋼

5、溫度測量：N型熱電偶

6、控溫精度：±1℃

7、升溫速率 MAX：由室溫升至1000℃小于90min（空爐） 建議10℃/min，最快≤20℃/min

8、加熱室：采用圓筒形加熱室結構。隔熱屏采用多層鉬結構，各層之間采用優質99剛玉陶瓷，發熱體為鉬片，鉬片均勻環繞在隔熱屏周圍，實現良好的溫度均勻性。具有使用壽命長、隔熱保溫性能好、真空放氣量極少。外框使用不銹鋼（310S）板材料，并且焊接多道加強筋以保證不變形。

9、加熱控制：采用PID智能控溫模塊設計，可編輯30段升溫曲線，存貯多組工藝配方，組合PLC等實現超壓、超溫、過流等自動報警保護功能，10寸液晶觸摸屏顯示操作，具有操作方便，功能強大，穩定性好等特點。

五、真空系統

1、真空配置： 一臺復合分子泵FB-1600、一臺旋片機械泵BSV-40；

2、極限真空：≤6.67*10^-4Pa（空載、冷態、經凈化）；

3、工作真空：≤6.67*10^-3Pa；

4、真空測量： 復合真空計ZDF5227A

測量范圍 1.0*10⁵~1.0*10^-5Pa

5、真空機組功率：4 Kw

6、優點：效率高、無污染、低能耗、低噪音。

7、壓升率：1Pa/h

六、水冷系統：

真空爐爐體、爐門、真空機組、水冷電極都需要冷卻水。該系統由主供水管分配到各冷卻部位，采用閉式水循環系統，每個電極冷卻均配有水流量觀察儀，主管路配備水壓報警系統。進水有分支接到自來水管道上，以備停電時緊急使用。

七、安全系統：

安全系統包括：停水、驅動氣欠壓、超溫、加熱過流、旋片泵、分子泵，設備具有自檢、故障自診斷、自動保護、防止誤操作等功能。并具有聲光報警提示和具備相應的聯鎖、互鎖保護。

八、設備安裝運行條件：

1、環境條件
1）環境溫度：－15－45℃
2）海拔高度：≤2000m
3）環境相對濕度：≤75%
2、電源條件
1）額定電壓：三相380V(±10V)
2）額定頻率：50Hz
3）整機配電功率：≥40KW

3、水冷條件
1）水壓：0.2~0.4MPa
2）進水溫度：≤15℃
3）水流量：≥5m3/h
4）水質要求：不含泥沙及雜質的軟水，電阻率≥1M(Ω·mm2/m)，PH≈7。本產品在運行時要求持續供應符合要求的冷卻水，為保證本產品的安全，需方須自備緊急用水源，當停電時仍有冷卻水供給。
4、氣體
1）氬氣：用于保護氣氛 純度≥99.999%，0.2~0.4MPa；
2）壓縮空氣：用于啟動裝置的驅動氣源、壓力0.3~0.6MPa，無油、無水干凈的氣體。

九、設備配置