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臺碩檢測設備（蘇州）有限公司
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地址：蘇州市吳中區橫涇街道天鵝蕩路2659號2號廠房
度高：最小間距分辨率高達O.OOlpim
? 800pm\5mm\20mm大量程傳感器，測力小精度高、數據重復性好
?無導頭式天然鉆石觸針，使用范圍廣，操作更方便
?軟件可自動校正精度、確保儀器在線保持高精度工作狀態
o8)產品技術規格 Product specificatiions
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型號 |
TS-R100 |
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X軸（橫導） |
lOOmm,直線度=0.8nm/l00mm |
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測量范圍 zi軸（傳感） |
20mm |
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Z軸位柱） |
400mm |
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線性精度 |
W± (0.8+0.2L/100) pm |
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Zl軸精度 |
W （0.8+|0.2H|/l00） gm； （L=X軸移動導軌距離，H=Zl軸方向測量高度） |
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測量精度 殘值噪聲 |
W0.005um |
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示值誤差 |
W±(5nm+0.lA) |
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重復性 |
W±3% |
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傳感器 |
光柵傳感器，分辨率0.00l|im |
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評定長度 |
入 cX3、4、5、6、7
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