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臺碩檢測設(shè)備（蘇州）有限公司
聯(lián)系人：李經(jīng)理
手機號：186-1668-7110 18616687110
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以精密氣浮主軸和高精度立柱導(dǎo)軌
為基準(zhǔn)，采用計算機測量系統(tǒng)的轉(zhuǎn)
臺式圓柱度儀
產(chǎn)品特點
Product features
1ASO
臺碩ili§測
®先進的補償算法，對Z軸精度進行補償
®可評定錐形柱體的輪廓度（小錐體）
© 氣浮運動軸系，精度保持長久A級儀器光學(xué)尺配合精密工作臺，確保機臺精度在2.5+L/200nm以內(nèi)
® Z軸光柵計數(shù)
©關(guān)鍵件采用特殊去應(yīng)力合金材料及特殊的去應(yīng)力處理工藝，精度保持長久
©業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的高精度采集控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)所有電路按軍品標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計、生產(chǎn)及驗收，
能在-70°C?+70°C的溫度區(qū)間內(nèi)穩(wěn)定工作
©模塊化設(shè)計使用戶維護成本降至低
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格
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測量范圍 |
大直徑 |
<t)300mm |
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小內(nèi)徑 |
c|)3mm |
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大咼度 |
420mm （可定制） |
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主軸精度 |
徑向誤差 |
±(0.025+5H/10000)nm |
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軸向誤差 |
±(0.025+6X/10000)nm |
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工作臺 |
臺面直徑 |
0180mm |
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回轉(zhuǎn)直徑 |
0320mm |
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承載重量 |
30Kg |
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調(diào)整范圍 |
調(diào)偏心±2mm ;調(diào)水平±1° |
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旋轉(zhuǎn)速度 |
0-12轉(zhuǎn)/分 |
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水平臂 |
水平移動距離 |
160mm |
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移動速度 |
自動0.5~6mm/s,或手動控制 |
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傳感器 |
量程 |
600pm （半徑差） |
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分辨率 |
0.005pm |
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測針形狀 |
寶石球測頭 |
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測力 |
l-12g |
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回轉(zhuǎn)軸線與Z軸導(dǎo)軌平行度 |
2|im/300mm,母線基準(zhǔn) |
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立柱直線度 |
0.5nm/100mm, 0.8|im/300mm |
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數(shù)據(jù)采集 |
進口光柵7200點/周 |
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放大倍率 |
任意至大20萬倍 |
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電源 |
AC 220V±10% 50Hz |
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氣源壓力 |
0.45?0.80Mpa （氣源質(zhì)量要求：常規(guī)） |
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